碳化硅制品多件研磨過程中,為了消除預(yù)加工尺寸的不均、研具本身具有的幾何形狀誤差和因運動軌跡或行程的區(qū)域限制而造成的誤差,工件需要有規(guī)律地調(diào)換工作位置。
研磨開始階段因存在工件的原始幾何形狀誤差,碳化硅板研磨壓力集中作用在尺寸大的工件上,由于被研磨的面積很小,所以切削能力很強。當研磨一段時間后,各工件的尺寸相近了,工件與研具的接觸面積增大了,工件所受壓力減少,切削能力減弱,這一研磨過程是控制尺寸的主要方法,因為這時可得到尺寸均勻的工件,其次,又因研磨中有直線往復(fù)和圓盤研磨等各種運動方式,研磨運動中可產(chǎn)生扭轉(zhuǎn)力矩及內(nèi)外圈線速度等影響尺寸均勻的一些因素,會造成工件的幾何形狀偏差及尺寸不均勻的現(xiàn)象,這就需要采用調(diào)換工件位置的方法來校正它。
工件位置的調(diào)換原理是突出工件尺寸大小的差異使之相互抵消。具體方法是把尺寸大的工件向尺寸小的工件處靠近,大小均布分開,這樣,尺寸大的工件與研具接觸,研去的尺寸就快。等到尺寸小的工件相差微小時,仍然存在著比第一次差異小的尺寸差異,這樣再進行第二次調(diào)位,結(jié)果又使尺寸差異減小,如此類推逐次調(diào)換下去,直到尺寸均勻或達到精度要求為止。但要注意,第一次調(diào)過位的,第二次不能再調(diào),第一次采取單數(shù)調(diào)換,而第二次應(yīng)采取雙數(shù)調(diào)換。
碳化硅制品多件研磨過程中,為了消除預(yù)加工尺寸的不均、研具本身具有的幾何形狀誤差和因運動軌跡或行程的區(qū)域限制而造成的誤差,工件需要有規(guī)律地調(diào)換工作位置。